【简答题】 简述旋涂稳定的控制。(技能鉴定,其他技能,光盘生
题目描述
【简答题】 简述旋涂稳定的控制。
答案解析
(1)、尽量少开旋涂室的门,控制温湿度; (2)、旋涂室的温度应对外部环境略高些,基本为30℃。湿度为30%; (3)、各离子风机的状态; (4)、各旋涂碗的安装下染料针头是否清洁; (5)、各机械手的位置、染料泵、真空泵的工作状态等; (6)、白片及OD的测量(基本为2小时测一次,特殊情况除外); (7)、各抽风供风系统是否良好运行。
(1)、尽量少开旋涂室的门,控制温湿度; (2)、旋涂室的温度应对外部环境略高些,基本为30℃。湿度为30%; (3)、各离子风机的状态; (4)、各旋涂碗的安装下染料针头是否清洁; (5)、各机械手的位置、染料泵、真空泵的工作状态等; (6)、白片及OD的测量(基本为2小时测一次,特殊情况除外); (7)、各抽风供风系统是否良好运行。
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