1)站工艺系统控制图。undefined2)站ESD系统控制图。undefined3)站控设备动态运行图。undefined4)单体设备控制画面。undefined5)调节回路控制画面。undefined6)主要参数实时和历史趋势图。undefined7)主要参数一览表。undefined8)报警分类信息表。undefined9)系统配置图。undefined10)事件信息表。undefined11)帮助说明表。undefined注:站控设备动态运行图中应包含计算机设备、通信信道和不间断电源的运行状态。
1)站工艺系统控制图。undefined2)站ESD系统控制图。undefined3)站控设备动态运行图。undefined4)单体设备控制画面。undefined5)调节回路控制画面。undefined6)主要参数实时和历史趋势图。undefined7)主要参数一览表。undefined8)报警分类信息表。undefined9)系统配置图。undefined10)事件信息表。undefined11)帮助说明表。undefined注:站控设备动态运行图中应包含计算机设备、通信信道和不间断电源的运行状态。
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