(1)打开TCV1102旁路电磁阀。undefined(2)停P1114真空泵。undefined(3)关闭抽真空管路阀XV1102,同时关闭压控PV1105。undefined(4)如果P1113已停泵,则同时关闭抽真空管路阀XV1101及压控阀PV1104A。
(1)打开TCV1102旁路电磁阀。undefined(2)停P1114真空泵。undefined(3)关闭抽真空管路阀XV1102,同时关闭压控PV1105。undefined(4)如果P1113已停泵,则同时关闭抽真空管路阀XV1101及压控阀PV1104A。
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