考试
2022-12-19 11:52:43

立式炉系统的五部分是什么?例举并简单描述?

题目描述

立式炉系统的五部分是什么?例举并简单描述?

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答案解析

工艺腔、硅片传输系统、气体分配系统、尾气系统、温控系统

工艺腔、硅片传输系统、气体分配系统、尾气系统、温控系统

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