考试
2022-12-22 05:31:41

离子源使用结束后,机器会自动充入氩气对其冷却,冷却的目的是什

题目描述

离子源使用结束后,机器会自动充入氩气对其冷却,冷却的目的是什么?

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答案解析

主要目的是快速冷却,由于氩气是不活泼性气体,很难与离子源部件发生氧化。

主要目的是快速冷却,由于氩气是不活泼性气体,很难与离子源部件发生氧化。

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