考试
2022-12-25 03:41:24

个投影曝光系统采用ArF光源,数值孔径为0.6,设k1=0.

题目描述

个投影曝光系统采用ArF光源,数值孔径为0.6,设k1=0.6,n=0.5,计算其理论分辨率和焦深。

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答案解析





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