考试
1970-01-01 08:00:00

【多选题】 硅外延生长工艺包括【】。(技能鉴定,其他技能,半

题目描述

【多选题】 硅外延生长工艺包括【】。

A衬底制备

B原位HCl腐蚀

C生长温度,生长压力,生长速度

D尾气的处理

答案解析

A,B,C,D

A,B,C,D

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