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1970-01-01 08:00:00【多选题】 硅外延生长工艺包括【】。(技能鉴定,其他技能,半
题目描述
【多选题】 硅外延生长工艺包括【】。
A衬底制备
B原位HCl腐蚀
C生长温度,生长压力,生长速度
D尾气的处理
答案解析
A,B,C,D
A,B,C,D
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